Tratamento térmico de resistor de filme fino
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Tratamento térmico de resistor de filme fino
O objetivo do tratamento térmico do filme de resistência é formar um certo número de fases isolantes no filme, de modo a melhorar o desempenho da temperatura e a estabilidade a longo prazo do filme. O processo de fabricação de filmes finos de resistência é geralmente de alta temperatura e curto período de tempo, portanto, um grande número de defeitos desequilibrados e algumas estruturas metaestáveis são retidos, resultando no desaparecimento gradual desses defeitos e na transformação gradual do estado metaestável no trabalho de longo prazo. processo de filme fino, e o desempenho do filme fino muda gradualmente. Através do tratamento térmico, algumas discordâncias geradas no processo de deposição podem mover-se para a superfície e desaparecer, e o número de defeitos nos limites dos grãos diminui. Como resultado, a estrutura do filme é bastante melhorada, o filme muda do estado metaestável para o estado estável e o desempenho do filme tende a ser estável. Além disso, como o filme e o substrato são frequentemente dois materiais diferentes, é inevitável que haja difusão mútua e reação química na interface, o que causará a mudança gradual das propriedades do filme de resistência. Da mesma forma, na superfície do filme, as propriedades do filme mudam com o tempo devido à difusão e à reação.
Pode-se observar pelo exposto que o desempenho do filme de resistência sem tratamento térmico não é suficientemente estável, portanto é necessário selecionar condições adequadas do processo de tratamento térmico, como temperatura, tempo e atmosfera. De modo geral, a alta temperatura deve ser selecionada, porque somente em alta temperatura vários processos no filme podem ser concluídos em um tempo limitado de tratamento térmico. Ao mesmo tempo, uma densa camada protetora deve se formar na superfície do filme. Além da temperatura e do tempo de tratamento térmico adequados, a atmosfera de tratamento térmico necessária deve ser selecionada. Por exemplo, use uma atmosfera oxidante ou nitretação. Desta forma, a fase de isolamento pode atingir uma estrutura de dispersão extremamente fina, como a dispersão fina da linearidade molecular, para que a estabilidade e o desempenho de temperatura do filme possam atingir os melhores.
Classificação de materiais elétricos
Atualmente, existem muitos materiais para fazer filmes de resistência, incluindo metais puros, ligas metálicas, compostos metálicos ou cermets (combinação de cerâmica e metais), etc., mas existem três tipos de materiais amplamente utilizados em circuitos integrados analógicos monolíticos e filmes circuitos híbridos: cermets de níquel-cromo, cromo-silício e óxido de cromo-silício, entre os quais o níquel-cromo pertence a materiais de baixa resistência, enquanto o cromo-silício e o óxido de cromo-silício pertencem a materiais de alta resistência. De acordo com a diferente composição dos materiais, os materiais de resistência de filme fino comumente usados são divididos em três tipos: níquel-cromo, cromo-silício e óxido de cromo-silício.